光程差测定范围:±590 nm 度盘格值:5nm 最小读数(1/5估读):1nm
应力测定范围:560 nm 全波片光程差:560 nm
应力测定范围: 560nm(一级干涉色)以下 样品最大高度: 250mm
检偏镜口径: ф150nm 台面玻璃口径: ф220nm
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